| 发明名称 | 涂布装置的洗边腔室和洗边方法 | ||
| 摘要 | 一种涂布装置的洗边腔室和洗边方法，其中，所述涂布装置的洗边腔室，包括：夹持单元，用于夹持圆筒形掩模板，并使所述圆筒形掩模板倾斜并绕中心轴旋转；侧边喷头，用于喷吐溶剂，去除圆筒形掩模板表面的两端边缘的光刻胶。所述洗边腔室能干净的去除圆筒形掩模板表面的两端边缘的光刻胶。 | ||
| 申请公布号 | CN104216216A | 申请公布日期 | 2014.12.17 |
| 申请号 | CN201310222206.4 | 申请日期 | 2013.06.05 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 刘洋;伍强 |
| 分类号 | G03F1/82(2012.01)I | 主分类号 | G03F1/82(2012.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 骆苏华 |
| 主权项 | 一种涂布装置的洗边腔室，其特征在于，包括：夹持单元，用于夹持圆筒形掩模板，并使所述圆筒形掩模板倾斜并绕中心轴旋转；侧边喷头，用于喷吐溶剂，去除圆筒形掩模板表面的两端边缘的光刻胶。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||