| 摘要 |
<p>본 발명은, 적어도, 챔버와, 챔버 내의 도가니와, 도가니의 주위에 배치된 히터와, 종결정을 끌어올리는 인상 기구와, 종결정 및 육성한 단결정의 도통로를 구비하며, 도가니 내에 수용한 원료 다결정을 히터에 의해 용융하고, 용융 다결정에 종 결정을 접촉시켜 끌어올리는 단결정 제조 장치에 있어서, 저부를 곡면 형상으로 한 원통형의 석영관과, 돔 형상의 석영판을 구비하며, 석영관은, 챔버의 상부에서 도통로를 통해 곡면상의 저부가 도가니 상에 면하도록 배치되고, 석영판은 석영관을 둘러싸도록 배치된 것이며, 석영관은 적어도 저부가 열선을 반사하는 반사 구조로, 석영판은 도가니를 향해 열선을 반사하는 반사 구조인 것을 특징으로 하는 단결정 제조 장치이다. 이에 의해, 다결정의 용융 시간을 단축하여 사이클타임을 단축할 수 있어, 생산 코스트의 저감과 함께, 전력 코스트를 저감시키는 단결정 제조 장치가 제공된다.</p> |
