照明装置

摘要

本发明涉及一种用于提供用于加工物体的加工光的照明装置（10）。光源的组生成用于加工物体的光，其中光源的组被成像单元（16）成像到工作平面（17）上以用于产生加工光。结果得到的强度分布被配置使得：如果强度分布在空间积分方向上被积分，则结果得到的积分强度分布具有强度下降，其中光源的组中的一个或数个可与光源的组中的另一个独立地控制以用于修改积分强度分布。这允许在加工装置中使用照明装置，使得与物体沿着其将被加工（特别地，将被密封）的加工线垂直地，物体能够被相对均匀地加工，从而改进加工物体的质量。

主权项

一种用于提供用于加工物体的加工光的照明装置，所述照明装置（10; 610; 710）包括：‑ 光源的组（20, 21, 22; 220, 221, 222; 420, 421; 620; 720），用于生成用于加工物体的光，‑ 成像单元（16; 616; 716），用于将光源的组（20, 21, 22; 220, 221, 222; 420, 421; 620; 720）成像到物体将在其中被密封的工作平面上，从而生成加工光（11），其中光源的组（20, 21, 22; 220, 221, 222; 420, 421; 620; 720）和成像单元（16; 616; 716）被适配使得在工作平面中加工光（11）可产生有强度分布，所述强度分布被配置使得：如果强度分布在空间积分方向上被积分，则结果得到的积分强度分布具有强度下降，其中光源的组（20, 21, 22; 220, 221, 222; 420, 421; 620; 720）中的一个或数个可与光源的组（20, 21, 22; 220, 221, 222; 420, 421; 620; 720）中的另一个独立地控制以用于修改积分强度分布。