LED衬底结构及其制作方法

摘要

本发明提供了一种LED衬底结构及其制作方法，首先，将图形化衬底技术和DBR技术有机地结合在一起，能更有效地提高LED的发光效率和发光亮度；其次，凹形结构或者凸形结构和DBR膜系位于衬底的同一表面上，且都是在衬底减薄前完成，便于加工和后续清洗处理，这无疑降低了LED加工过程中的隐形成本；再次，在做DBR膜系的窗口时，无需光刻，避开了微纳图形加工过程中光刻难对位的技术瓶颈；总之，本发明所提供的LED衬底结构的制作方法工艺简单、成本低廉，适于大规模商业化生产，LED衬底结构能够更有效地提高LED的发光效率和发光亮度，能够加快LED进入高端照明领域和寻常百姓家的产业化进程，符合LED可持续发展战略。

主权项

一种LED衬底结构，其特征在于，包括：衬底，所述衬底上形成有周期性阵列排布的凹形结构或者周期性阵列排布的凸形结构，所述凹形结构的内壁上形成有DBR膜系；或者所述凸形结构的侧壁和凸形结构之间的衬底表面上形成有DBR膜系。