| 发明名称 | 能够形成图案的沉积装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种能够形成图案的沉积装置，本发明的能够形成图案的沉积装置，其为用于在基板上沉积原料的装置，其特征在于，进一步包括：喷嘴部，形成有喷射口，用于向所述基板侧喷射原料；快门部，用于选择性地开闭喷嘴部的喷射口，从而选择性地喷射所述原料；及移送部，用于移送所述基板或所述喷嘴部中的至少一个。 | ||
| 申请公布号 | CN104220633A | 申请公布日期 | 2014.12.17 |
| 申请号 | CN201280071246.7 | 申请日期 | 2012.03.06 |
| 申请人 | SNU精度株式会社 | 发明人 | 金泰焕;柳云善;南宫晟泰 |
| 分类号 | C23C14/04(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人 | 宋融冰 |
| 主权项 | 一种能够形成图案的沉积装置，其为用于在基板上沉积原料的装置，其特征在于，进一步包括：喷嘴部，形成有喷射口，用于向所述基板侧喷射原料；快门部，用于选择性地开闭喷嘴部的喷射口，从而选择性地喷射所述原料；及移送部，用于移送所述基板或所述喷嘴部中的至少一个。 | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||