位于成像光纤顶端的曲面变焦距复眼微透镜的制作方法

摘要

本发明公开了一种位于成像光纤顶端的曲面变焦距复眼微透镜的制作方法，采用激光光刻工艺在基板上制作单或多层柱状光刻胶阵列,通过改变曝光剂量使阵列中柱状光刻胶的高度和形貌按一定规律排布，通过升温、降温过程使柱状光刻胶阵列回流成微透镜；在所述光刻胶微透镜阵列上旋转涂一种聚合物并使其固化形成柔性模具、将所述柔性模具通过气压的作用弯曲成曲面、在所述曲面柔性模具中滴加光学树脂，剥离后形成变焦距复眼微透镜、将此微透镜安装在成像光纤顶端。本发明的曲面微透镜能够批量生产，成本低，曲面的曲率，曲面上微透镜的焦距、面径和间距可控。

主权项

一种位于成像光纤顶端的曲面变焦距复眼微透镜的制作方法，其特征在于具体步骤为：采用激光光刻工艺在基板上制作单层或多层的柱状光刻胶阵列,通过在不同曝光位置设置不同的曝光剂量使阵列中柱状光刻胶的高度和形貌按一定规律排布；通过升温、降温过程使所述柱状光刻胶阵列回流成微透镜阵列；在所述微透镜阵列上旋转涂覆一种聚合物并使其固化形成柔性模具，将所述柔性模具通过气压的作用变形成为曲面柔性模具；在所述曲面柔性模具中滴加光学树脂，剥离后形成变焦距复眼微透镜；将所述变焦距复眼微透镜通过一管状连接件安装在成像光纤顶端。