抛光垫修整器及其制造方法、抛光垫修整装置及抛光系统

摘要

一种抛光垫修整器及其制造方法、抛光垫修整装置及抛光系统，修整器包括：研磨颗粒，其形状规则且为多面体；基体，具有研磨面，研磨面的表面粗糙度大小使得研磨面凹凸不平，研磨颗粒固结在研磨面上，至少部分研磨颗粒嵌入研磨面的凹部内；至少部分研磨颗粒的棱角背向研磨面。通过加大研磨面的表面粗糙度、并选用形状规则且为多面体的研磨颗粒，使得研磨颗粒嵌入研磨面的凹部内，且凹部内至少部分研磨颗粒的棱角背向研磨面，在对抛光垫进行修整时研磨颗粒的棱角朝向抛光垫，改善了研磨颗粒的切削研磨效果；另外，由于研磨颗粒的形状是规则的，故研磨颗粒的抗断裂强度高，可以大幅减少硅片因金刚石研磨颗粒破碎而被划伤的情形发生。

主权项

一种抛光垫修整器，其特征在于，包括：研磨颗粒，所述研磨颗粒形状规则且为多面体；基体，具有研磨面，所述研磨面的表面粗糙度大小使得所述研磨面凹凸不平，所述研磨颗粒固结在所述研磨面上，至少部分所述研磨颗粒嵌入研磨面的凹部内；凹部内至少部分研磨颗粒的棱角背向所述研磨面。