摆臂式轮廓仪测头系统空间位置坐标关系的测量装置和方法

摘要

本发明公开了一种摆臂式轮廓仪测头系统空间位置坐标关系的测量装置和方法，该装置摆臂式轮廓仪测头系统包括接触式传感器夹具、接触式传感器、第一靶球和第二靶球，多功能测量显微镜包括多功能测量显微镜立柱头、多功能测量显微镜立柱和多功能测量显微镜工作台面。通过控制多功能测量显微镜工作台面实现X、Y方向的移动，控制多功能测量显微镜立柱头实现Z方向的移动，分别使第一靶球、第二靶球和接触式传感器测头通过点源显微镜CCD成像并且在计算机窗口上显示对应光斑最小，此时多功能测量显微镜的坐标即是第一靶球的球心、第二靶球的球心和接触式传感器的测头的球心对应测量的空间位置坐标。本发明精度较高，同时可以方便快捷的实现。

主权项

一种摆臂式轮廓仪测头系统空间位置坐标关系的测量装置，其特征在于：由摆臂式轮廓仪测头系统支撑架、摆臂式轮廓仪测头系统、多功能测量显微镜、点源显微镜连接板、计算机、点源显微镜和大理石台面组成，摆臂式轮廓仪测头系统包括接触式传感器夹具、接触式传感器、第一靶球和第二靶球，多功能测量显微镜包括多功能测量显微镜立柱头、多功能测量显微镜立柱和多功能测量显微镜工作台面，其中：接触式传感器通过接触式传感器夹具上的通孔安装夹紧，第一靶球、第二靶球靠磁力吸附于接触式传感器夹具上；多功能测量显微镜工作台面通过X和Y两方向导轨安装于大理石台面上，多功能测量显微镜立柱固定安装于大理石台面上，多功能测量显微镜立柱头通过Z方向导轨安装于多功能测量显微镜立柱上；摆臂式轮廓仪测头系统支撑架下端面固定安装在多功能测量显微镜工作台面上，上端面与接触式传感器夹具下端面通过安装孔固定安装；点源显微镜连接板上部分通过安装孔与多功能测量显微镜立柱头固定安装，下部分通过安装孔与点源显微镜固定安装；多功能测量显微镜工作台面通过X、Y方向导轨移动，同时带动摆臂式轮廓仪测头系统实现X、Y方向的移动；多功能测量显微镜立柱头通过Z方向导轨移动，同时带动点源显微镜实现Z方向的移动；控制X、Y和Z三个方向的移动，分别使第一靶球、第二靶球和接触式传感器的测头通过点源显微镜CCD成像并且在计算机显示屏上显示对应光斑最小，此时多功能测量显微镜的坐标即是第一靶球的球心、第二靶球的球心和接触式传感器的测头的球心对应测量的空间位置坐标；计算机通过数据采集线与点源显微镜相连，将点源显微镜CCD上所成像通过计算机窗口显示。