用于去除污染物质的等离子体反应器及其驱动方法

摘要

公开了用于去除污染物质的等离子体反应器及其驱动方法。本发明提供一种用于去除在显示器或半导体制造工序中低压工艺腔室内产生的污染物质的等离子体反应器。本发明的用于去除污染物质的等离子体反应器包括第一接地电极和第二接地电极，它们两者之间相互隔开设置；介电质，其固定在所述第一接地电极和所述第二接地电极之间；以及至少一个驱动电极，其位于所述介电质的外表面上，并与所述第一接地电极和所述第二接地电板相互隔开设置，且与交流电源单元连接，以接收驱动电压。

主权项

一种用于去除污染物质的等离子体反应器，其位于低压工艺腔室和真空泵之间，并通过生成低压等离子体来去除低压工艺腔室中产生的污染物质，其特征在于，包括：第一接地电极和第二接地电极，它们两者之间相互隔开设置；介电质，其固定在所述第一接地电极和所述第二接地电极之间；至少一个驱动电极，其设置在所述介电质的外表面上，并与所述第一接地电极和所述第二接地电极相互隔开设置，且与交流电源单元连接，以接收驱动电压，所述第一接地电极、所述介电质和所述第二接地电极是环状结构，而且朝着一个方向连接而构成一管。