| 摘要 |
<p>본 발명은, 간단한 구성으로 직동부(直胴部) 상단부의 내측으로의 붕괴를 방지할 수 있는 실리콘 단결정 인상(引上)용 석영유리 도가니 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명의 실리콘 단결정 인상용 석영유리 도가니는, 직동부와 바닥부를 구비한 실리콘 단결정 인상용 석영유리 도가니에 있어서, 적어도 상기 직동부에 가상온도의 구배(句配)를 형성하고, 최외측의 가상온도를 최내측의 가상온도보다도 25℃이상 낮게 한 것을 특징으로 한다.</p> |
