飞秒激光脉冲序列加工的全光纤传感器及其制作方法

摘要

本发明涉及一种飞秒激光脉冲序列加工的全光纤传感器的制作方法，包括以下步骤：取光纤，用剥离钳子去单模除光纤上的一段涂覆层；采用飞秒激光脉冲序列三维微加工；在光纤上烧蚀出一U型微通道，采用飞秒激光脉冲序列烧蚀掉部分光纤的包层与芯层后，得到的空气腔的微通道；在微通道打通后，将光纤浸泡在5％的HF酸中，在超声波的辅助下后处理45分钟，使得微通道内壁粗糙度降低，从而可获得一个衰减峰较低的透射谱线。本发明的有益效果为：采用飞秒激光脉冲序列加工实现一种单步成型且结构简单的高灵敏度新型微传感器，该传感器整个器件不存在组装或移动部件，具有单步成型、结构简单、机械强度好、灵敏度高等优点。

主权项

一种飞秒激光脉冲序列加工的全光纤传感器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)、取光纤，用剥离钳子去单模除光纤上的一段涂覆层；(2)、采用飞秒激光脉冲序列三维微加工；选择参数为波长800nm、重复频率1kHz、脉冲宽度35fs、最高输出功率2mW的飞秒激光经过脉冲整形器后，调整为子脉冲数为2，脉冲间隔200fs的双脉冲飞秒激光脉冲序列，经过快门和由半玻片和偏振片组成的衰减系统，将光纤的能量降低到约1mW，将光纤置于水中，然后经20倍物镜聚焦到浸泡在去离子水中的光纤的赤道表面，光纤放置在精度1μm的精密平移台上；(3)、在光纤上烧蚀出一U型微通道，所述U型微通道的深度小于所述光纤圆周面到所述纤芯的垂直距离，采用飞秒激光脉冲序列烧蚀掉部分光纤的包层与芯层后，得到的空气腔的微通道；(4)、在微通道打通后，将光纤浸泡在5％的HF酸中，在超声波的辅助下后处理45分钟，使得微通道内壁粗糙度降低，从而可获得一个衰减峰较低的透射谱线。