发明名称 |
物面形变测量方法和测量系统 |
摘要 |
本发明涉及一种物面形变测量方法和测量系统,其中,一种物面形变测量方法包括:确定待测物面的三维形貌数据;通过激光散斑干涉测量确定所述待测物面的原始形变测量数据;根据所述三维形貌数据校正所述形变测量数据,以得到所述待测物面的最终三维形变分布数据。本发明可实现对一定曲率的物面形变数据的精密测量和校正,具有广泛的应用前景。 |
申请公布号 |
CN104215193A |
申请公布日期 |
2014.12.17 |
申请号 |
CN201410426311.4 |
申请日期 |
2014.08.26 |
申请人 |
北京信息科技大学 |
发明人 |
吴思进 |
分类号 |
G01B11/16(2006.01)I |
主分类号 |
G01B11/16(2006.01)I |
代理机构 |
北京金律言科知识产权代理事务所(普通合伙) 11461 |
代理人 |
逯博;罗延红 |
主权项 |
一种物面形变测量方法,其特征在于,包括:确定待测物面的三维形貌数据;通过激光散斑干涉测量确定所述待测物面的原始三维形变分布数据;根据所述三维形貌数据校正所述原始三维形变分布数据,以得到所述待测物面的最终三维形变分布数据。 |
地址 |
100192 北京市海淀区小营东路12号 |