发明名称 物面形变测量方法和测量系统
摘要 本发明涉及一种物面形变测量方法和测量系统,其中,一种物面形变测量方法包括:确定待测物面的三维形貌数据;通过激光散斑干涉测量确定所述待测物面的原始形变测量数据;根据所述三维形貌数据校正所述形变测量数据,以得到所述待测物面的最终三维形变分布数据。本发明可实现对一定曲率的物面形变数据的精密测量和校正,具有广泛的应用前景。
申请公布号 CN104215193A 申请公布日期 2014.12.17
申请号 CN201410426311.4 申请日期 2014.08.26
申请人 北京信息科技大学 发明人 吴思进
分类号 G01B11/16(2006.01)I 主分类号 G01B11/16(2006.01)I
代理机构 北京金律言科知识产权代理事务所(普通合伙) 11461 代理人 逯博;罗延红
主权项 一种物面形变测量方法,其特征在于,包括:确定待测物面的三维形貌数据;通过激光散斑干涉测量确定所述待测物面的原始三维形变分布数据;根据所述三维形貌数据校正所述原始三维形变分布数据,以得到所述待测物面的最终三维形变分布数据。
地址 100192 北京市海淀区小营东路12号