发明名称 装片机的吸嘴装置
摘要 本实用新型涉及一种装片机的吸嘴装置,包括吸嘴杆和吸嘴,所述吸嘴杆下端与吸嘴装连,吸嘴杆的轴向有第一真空流道,吸嘴的轴向有第二真空流道,且第一真空流道与第二真空流道相通,而吸嘴的头部有真空吸孔,且真空吸孔与第二真空流道相连通;其创新点在于:所述吸嘴的头部有用于吸附芯片的吸附区,且吸附区的形状呈方形而其四周大于芯片的四周,所述真空吸孔位于所述芯片的吸附区的中心部位。本实用新型具有能够提高装片合格率,减少在装片过程中对芯片表面造成损伤等优点。
申请公布号 CN204029785U 申请公布日期 2014.12.17
申请号 CN201420461395.0 申请日期 2014.08.15
申请人 常州银河世纪微电子有限公司 发明人 徐青青
分类号 H01L21/683(2006.01)I 主分类号 H01L21/683(2006.01)I
代理机构 常州市天龙专利事务所有限公司 32105 代理人 夏海初
主权项 一种装片机的吸嘴装置,包括吸嘴杆(1)和吸嘴(2),所述吸嘴杆(1)下端与吸嘴(2)装连,吸嘴杆(1)的轴向有第一真空流道(1‑1),吸嘴(2)的轴向有第二真空流道(2‑1),且第一真空流道(1‑1)与第二真空流道(2‑1)相通,而吸嘴(2)的头部有真空吸孔(2‑2),且真空吸孔(2‑2)与第二真空流道(2‑1)相连通;其特征在于:所述吸嘴(2)的头部有用于吸附芯片的吸附区(2‑3),且吸附区(2‑3)的形状呈方形而其四周大于芯片的四周,所述真空吸孔(2‑2)位于所述芯片的吸附区(2‑3)的中心部位。
地址 213022 江苏省常州市新北区长江北路19号