发明名称 |
含有乙烯基醚基团的共聚物及其制备方法和应用 |
摘要 |
本发明提供一种含有乙烯基醚基团的共聚物及其制备方法和应用,所述共聚物由通式Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ所示的结构单元组成,其中,R<sup>1</sup>为O或HN,R<sup>2</sup>为碳原子数1-4的烷基、环己基或通式Ⅳ所示的基团(m表示1-3的正整数),n为1-4的正整数,通式Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ所示的结构单元的摩尔数分别为x、y、z,并且x:y:z=3-8:1-4:1-5,所述共聚物的重均分子量为5000-20000。添加有该共聚物的彩色光阻剂能够提高感度。并且,该共聚物在碱性溶液中具有溶解性,所以,添加有该共聚物的彩色光阻剂具有良好的显影性。<img file="DDA00002592661800011.GIF" wi="1545" he="512" /> |
申请公布号 |
CN103012652B |
申请公布日期 |
2014.12.17 |
申请号 |
CN201210546705.4 |
申请日期 |
2012.12.14 |
申请人 |
京东方科技集团股份有限公司 |
发明人 |
刘陆;舒适;齐永莲;徐传祥 |
分类号 |
C08F220/06(2006.01)I;C08F220/14(2006.01)I;C08F220/02(2006.01)I;C08F220/18(2006.01)I;C08F8/26(2006.01)I;G03F7/027(2006.01)I |
主分类号 |
C08F220/06(2006.01)I |
代理机构 |
北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 |
代理人 |
黄志华 |
主权项 |
一种含有乙烯基醚基团的共聚物,其特征在于,由通式Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ所示的结构单元组成,<img file="FDA0000585764450000011.GIF" wi="1175" he="534" />其中,R<sup>1</sup>为O或HN,R<sup>2</sup>为碳原子数为1‑4的烷基、环己基或通式Ⅳ所示的基团,其中,m表示1‑3的正整数,<img file="FDA0000585764450000012.GIF" wi="191" he="309" />n为1‑4的正整数,通式Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ所示的结构单元的摩尔数分别为x、y、z,并且x:y:z=3-8:1-4:1-5,所述共聚物的重均分子量为5000‑20000。 |
地址 |
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 |