发明名称 全光场偏振像差检测装置及检测方法
摘要 一种全光场偏振像差检测装置及检测方法。该装置包括:全偏振态发生器PSG、全偏振态分析器PSA及信号处理和控制系统。该检测方法包括:改变法拉第旋转器上加载偏控电压的大小,进行第一次测量;改变法拉第旋转器上加载偏控电压的大小,进行第二、三、四次测量;根据算法对四次测量结果进行处理。本发明具有装置结构简单、共光轴且稳定、测量无需机械转动、算法简单、高空间分辨率且测量速度较快的特点。
申请公布号 CN102607819B 申请公布日期 2014.12.17
申请号 CN201210091180.X 申请日期 2012.03.31
申请人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明人 曹绍谦;步扬;步鹏;王向朝;张敏;汤飞龙;李中梁
分类号 G01M11/02(2006.01)I 主分类号 G01M11/02(2006.01)I
代理机构 上海新天专利代理有限公司 31213 代理人 张泽纯
主权项 一种全光场偏振像差检测装置,该装置包括全偏振态发生器、全偏振态分析器及信号处理和控制系统,其特征在于;所述全偏振态发生器包括激光器(1)、激光扩束器(2)、起偏器(3)、第一法拉第旋转器(4)、1/4波片(5)和第二法拉第旋转器(6),所述全偏振态分析器包括补偿器(8)、微偏振检偏器阵列(9)及CCD探测器阵列(10),其位置关系是:沿该激光器(1)的激光输出方向,依次是所述的激光扩束器(2)、起偏器(3)、第一法拉第旋转器(4)、1/4波片(5)、第二法拉第旋转器(6)所述的补偿器(8)、微偏振检偏器阵列(9)和CCD探测器阵列(10);所述微偏振检偏器阵列(9)是由微偏振检偏器超像素(901)的阵列组成,所述的微偏振检偏器超像素(901)由0度线偏振微检偏器(902)、45度线偏振微检偏器(903)、90度线偏振微检偏器(904)和135度线偏振微检偏器(905)组成,所述的CCD探测器阵列(10)是由CCD探测器超像素(1001)的阵列组成的,所述CCD探测器阵列超像素(1001)是由四个相同的CCD探测器子像素组成;所述的微偏振检偏器阵列(9)和所述的CCD探测器阵列(10)集成在一起,使所述的微偏振检偏器超像素(901)阵列和CCD探测器超像素(1001)阵列一一对准,形成对准超像素阵列(901‑1001);所述信号处理和控制系统包括放大器(11)、同步数据采集卡(12)、计算机(13)、第一偏压控制器(14)和第二偏压控制器(15);所述的CCD探测器阵列(10)经所述的放大器(11)、同步数据采集卡(12)与所述的计算机(13)的输入端相连,所述计算机(13)的输出端接所述的第一偏压控制器(14)和第二偏压控制器(15)的输入端,所述的第一偏压控制器(14)的输出端接所述的补偿器(8)的控制端,所述的第二偏压控制器(15)的输出端接所述的第一法拉第旋转器(4)和第二法拉第旋转器(6)的控制端。
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