单像素结构，包括其的数字微镜器件以及它们的制备方法

摘要

本发明提供了一种单像素结构，包括其的数字微镜器件以及它们的制备方法。其中，单像素结构包括：衬底、设置在衬底上的具有左导电部和右导电部的第一导电组件；反射镜，通过设置在衬底或第一导电组件上的支撑结构悬空地设置在第一导电组件的上方，反射镜包括反射部和与反射部垂直设置的驱动部，驱动部部分延伸至左导电部和右导电部之间；常态下，驱动部处于与衬底上表面垂直的状态，且与左导电部和右导电部不接触；在左导电部与驱动部施加电性相反的电压时，驱动部向左导电部偏转；在右导电部与驱动部施加电性相反的电压时，驱动部向右导电部偏转。这种结构不但增加了反射镜的反应灵敏度，而且更适应于DMD芯片小型化、微型化的制作要求。

主权项

一种单像素结构，其特征在于，包括：衬底，第一导电组件，设置在所述衬底上，包括左导电部和右导电部；反射镜，通过设置在所述衬底或所述第一导电组件上的支撑结构悬空地设置在所述第一导电组件上方，所述反射镜包括反射部和与所述反射部垂直设置的驱动部，所述驱动部部分延伸至所述左导电部和右导电部之间；常态下，所述驱动部处于与所述衬底上表面垂直的状态，且与所述左导电部和右导电部不接触；所述左导电部与所述驱动部施加电性相反的电压时，所述驱动部向所述左导电部偏转；所述右导电部与驱动部施加电性相反的电压时，所述驱动部向所述右导电部偏转。