一种MOCVD反应室保温隔热装置

摘要

本发明公开了一种MOCVD反应室保温隔热装置，包括：圆形基座、设于圆形基座上方的载片盘、设于载片盘与圆形基座之间的电阻加热片、连接于电阻加热片边缘与圆形基座之间的电极杆、活动穿过圆形基座和电阻加热片连接于载片盘底面中间的电机转轴，电阻加热片下方设有至少两层隔热屏；载片盘下方还设有位于电阻加热片和隔热屏外圈的圆筒形反射屏，圆筒形反射屏的直径与载片盘直径配合。本发明的电阻加热片底部增设多层隔热屏，电阻加热片和隔热屏外圈增设一圆筒形反射屏，以减少向反应腔底部散失的热量，提高能量的利用率。

主权项

一种MOCVD反应室保温隔热装置，包括：圆形基座、设于圆形基座上方的载片盘、设于载片盘与圆形基座之间的电阻加热片、连接于电阻加热片边缘与圆形基座之间的电极杆、活动穿过圆形基座和电阻加热片连接于载片盘底面中间的电机转轴，其特征在于，所述电阻加热片下方设有至少两层隔热屏；载片盘下方还设有位于所述电阻加热片和隔热屏外圈的圆筒形反射屏，所述圆筒形反射屏的直径与载片盘直径配合。