测量AR减反膜厚度和折射率的装置

摘要

本发明公开了一种测量AR减反膜厚度和折射率的装置，包括至少两个光源和一个计算装置，以及对应每个光源的光学系统、光线接收器和光谱分析装置，所述每个光源的光线通过对应的光学系统以大于0度且小于90度的倾斜角照射至AR减反膜膜面同一侧的同一点，且反射后的光线被对应的光线接收器接收，所述每个光线接收器通过光路或光纤连接对应的光谱分析装置，且每个光谱分析装置均通过数据线连接计算装置，本发明的AR减反膜测量装置具有结构简单，测量速度快，测量准确的特点。与椭偏仪相比，本装置无活动部件，所以运行的可靠性很高，同时信号采集速度也很高，所以可以用于在线测量。

主权项

一种测量AR减反膜厚度和折射率的装置，其特征在于：包括至少两个光源(1)和一个计算装置(2)，以及对应每个光源(1)的光学系统(3)、光线接收器(4)和光谱分析装置(5)，所述每个光源(1)的光线通过对应的光学系统(2)以大于0度且小于90度的倾斜角照射至AR减反膜(6)膜面同一侧的同一点，且反射后的光线被对应的光线接收器(4)接收，所述每个光线接收器(4)通过光纤或光路连接对应的光谱分析装置(5)，且每个光谱分析装置(5)均通过数据线最终连接计算装置(2)。