脆性材料基板的搬送头

摘要

本发明是有关于一种脆性材料基板的搬送头，一种对在具有在纵方向及横方向阵列地形成且经裂断的功能区域的基板之中，能够对功能区域在维持该状态下进行搬送的搬送头。搬送头(20)，具有头部(30)、以及将头部(30)保持成上下移动自如的滑件机构。头部(30)，在下面设置基座板(31)、以及与基座板之间具有空隙的顶板(32)。此外，在基座板的下面具有弹性片(35)，该弹性片(35)具有呈格子状地配列的开口。在吸引功能区域时，以从弹性片(35)的开口(36)吸引空气的方式往既定的地点进行搬送。本发明提供的技术方案可获得能够利用搬送头仅将功能区域的部分一起进行搬送的效果。

主权项

一种搬送头，是用于搬送脆性材料基板，该脆性材料基板是在一面具有在纵方向及横方向以既定的间距形成的功能区域，且沿以功能区域位于中心的方式呈格子状地形成的刻划线被裂断；其特征在于：具备头部、以及将该头部保持成上下移动自如的滑件机构；该头部，具备：顶板；基座板，是在与该顶板之间形成气密的空洞，在不与该顶板相接的表面，具有配列成与该脆性材料基板的功能区域对应并与该空洞连通的开口；以及弹性片，是贴附于该基座板的不与该顶板相接的表面，具有配列于与该基座板的开口对应的位置的开口。