磁盘用玻璃基板的制造方法及磁盘的制造方法

摘要

在一边供给含大粒径研磨磨粒的研磨液、一边使玻璃基板与软质的研磨垫相对移动、进行研磨的先行研磨工序中，玻璃基板主表面的端部成为比部隆起的形状(滑行跳变)。在后续的研磨工序中，使用含有小粒径研磨磨粒的研磨液和硬度更高的研磨垫，进行这样的研磨：假设研磨具有平坦端部的玻璃基板，则能得到主表面的端部比部下降的形状(滑离)的玻璃基板。这样，使玻璃基板朝着抵消先行研磨工序中形成的滑行跳变的方向变化，使端部形状近于平坦。

主权项

一种磁盘用玻璃基板的制造方法，包括若干个把含有研磨磨粒的研磨液供给到玻璃基板与研磨该玻璃基板的主表面的研磨垫之间、使上述玻璃基板与研磨垫相对移动来研磨上述玻璃基板的主表面的研磨工序，其特征在于，上述若干个研磨工序包含先行研磨工序和后续研磨工序；上述先行研磨工序使用由第1研磨磨粒和第1研磨垫组成的第1组合来进行研磨；上述后续研磨工序使用由第2研磨磨粒和第2研磨垫组成的第2组合来进行研磨；按照由上述先行研磨工序得到的上述玻璃基板的主表面的端部形状在后续研磨工序中朝着被抵消的方向变化的方式，选择第1组合以及/或者第2组合。