| 发明名称 | 硅片烘干箱 | ||
| 摘要 | 一种硅片烘干箱，包括箱体、红外线灯、回流管道和管道风机，在所述箱体内的左侧、右侧及上侧分别设置所述红外线灯；所述回流管道的一端与箱体顶端贯通连接，另一端与箱体底端贯通连接，所述管道风机贯通连接在所述回流管道中；所述箱体上设置有门体。本实用新型通过红外线灯对硅片进行烘烤，不采用电热丝，维修方便，而且红外灯的数量根据需求投入，使用方便；通过在箱体上设置回流管道，使箱内气体循环，提高了硅片烘烤效率。 | ||
| 申请公布号 | CN204027228U | 申请公布日期 | 2014.12.17 |
| 申请号 | CN201420406697.8 | 申请日期 | 2014.07.23 |
| 申请人 | 济南晶博电子有限公司 | 发明人 | 彭雷 |
| 分类号 | F26B9/06(2006.01)I;F26B3/30(2006.01)I;F26B21/02(2006.01)I | 主分类号 | F26B9/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 济南诚智商标专利事务所有限公司 37105 | 代理人 | 王汝银 |
| 主权项 | 一种硅片烘干箱，其特征在于，包括箱体、红外线灯、回流管道和管道风机，在所述箱体内的左侧、右侧及上侧分别设置所述红外线灯；所述回流管道的一端与箱体顶端贯通连接，另一端与箱体底端贯通连接，所述管道风机贯通连接在所述回流管道中；所述箱体上设置有门体。 | ||
| 地址 | 250200 山东省济南市章丘市明水区赭山工业园 | ||