| 发明名称 | 负压控制装置 | ||
| 摘要 | 一种负压控制装置，其具有：一真空单元；至少二第一阀，各第一阀系耦接该真空单元；至少二第一工作区，各第一工作区系耦接各第一阀；一第二阀，其系耦接该真空单元；一压力控制器，其系耦接该第二阀；以及一第二工作区，其系耦接该压力控制器。第一阀与第二阀依序提供一负压给第一工作区或第二工作区，并透过压力控制器调整负压的真空值，故无须使用多个真空源，仅需单一真空源即可提供多个负压给多个工作区。 | ||
| 申请公布号 | CN204029768U | 申请公布日期 | 2014.12.17 |
| 申请号 | CN201420331881.0 | 申请日期 | 2014.06.20 |
| 申请人 | 苏州均华精密机械有限公司 | 发明人 | 许鸿铭;姜智元;张木庆 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人 | 马明渡;徐丹 |
| 主权项 | 一种负压控制装置，其特征在于：其具有： 一真空单元；至少二第一阀，各第一阀系耦接该真空单元；至少二第一工作区，各第一工作区系耦接各第一阀；一第二阀，其系耦接所述真空单元；一压力控制器，其系耦接所述第二阀；以及一第二工作区，其系耦接所述压力控制器。 | ||
| 地址 | 215101 江苏省苏州市吴中区木渎镇金枫南路777号金枫高新产业园H幢1楼 | ||