应用于光学系统的检测装置

摘要

本发明公开一种应用于光学系统的检测装置，包括：菲索型干涉仪；反光镜，用于将所述光学系统输出的光束沿原光路返回至光学系统；标准镜，位于所述菲索型干涉仪前端，其接收来自所述菲索型干涉仪的相干光并将其分为透射光束和反射光束；所述光学系统位于所述标准镜和反光镜之间，用于接收来自所述标准镜的透射光束；一半透明的对准部件罩于所述光学系统靠近反光镜侧的右端部，此对准部件中心设置有中心圆孔；一可变光阑罩于所述光学系统靠近标准镜侧的左端部，此可变光阑中心处的孔径大小可调节，其用于控制进入光学系统中光束的光斑大小。本发明检测装置实现了对光学系统综合性能的检测，并进一步排除非光学系统因素所导致的缺陷，从而提高测试数据的可靠性。

主权项

一种应用于光学系统的检测装置，其特征在于：包括：菲索型干涉仪（1），用于产生相干光并接收经不同光程的两路反射光从而形成干涉条纹图像；反光镜（2），用于将所述光学系统（4）输出的光束沿原光路返回至光学系统和菲索型干涉仪；标准镜（3），位于所述菲索型干涉仪前端，其接收来自所述菲索型干涉仪的相干光并将其分为透射光束和反射光束；所述光学系统（4）位于所述标准镜（3）和反光镜（2）之间，用于接收来自所述标准镜（3）的透射光束；一半透明的对准部件（5）罩于所述光学系统（4）靠近反光镜侧的右端部，此对准部件（5）中心设置有中心圆孔（6）；一可变光阑（7）罩于所述光学系统（4）靠近标准镜侧的左端部，此可变光阑（7）中心处的孔径大小可调节，其用于控制进入光学系统（4）中光束的光斑大小。