一种碳化硅纤维表面氧化物陶瓷涂层的制备方法

摘要

一种碳化硅纤维表面氧化物陶瓷涂层的制备方法，包括以下步骤：（1）将碳化硅纤维去胶、清洗；（2）放入ALD反应室内，反复抽真空、置换氮气三次；（3）根据沉积氧化物涂层的种类，选择反应前驱体，设置沉积工艺参数；（4）在氮气或氩气携带下将前驱体蒸汽引入到ALD反应室中；（5）用氮气或氩气吹扫反应室；（6）在氮气或氩气携带下将氧源蒸汽引入到ALD反应室中；（7）用氮气或氩气吹扫反应室；（8）重复步骤（4）-步骤（7），直至沉积到所需涂层厚度；（9）放入高温管式炉中，在氮气保护下进行热处理即成。利用本发明，可在SiC纤维表面制备出均匀、致密、杂质少、厚度可精确控制的氧化物陶瓷涂层。

主权项

一种碳化硅纤维表面氧化物陶瓷涂层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）将碳化硅纤维去胶、清洗；将碳化硅纤维束或纤维编织体中于400℃‑700℃氮气气氛下保温10min‑60min以去胶，接着置于丙酮中超声清洗5min‑30min，以去除表面污物，随后室温干燥；（2）将经步骤（1）处理过的碳化硅纤维束或纤维编织体放入ALD反应室内，然后反复抽真空、置换氮气三次；（3）根据沉积氧化物涂层的种类，选择反应前驱体，设置沉积工艺参数：沉积温度25℃‑400℃，沉积压力0.01torr‑760 torr；（4）在氮气或氩气携带下将前驱体蒸汽引入到ALD反应室中；（5）用氮气或氩气吹扫反应室；（6）在氮气或氩气携带下将氧源蒸汽引入到ALD反应室中；（7）用氮气或氩气吹扫反应室；（8）重复步骤（4）‑步骤（7），直至沉积到所需涂层厚度；（9）将步骤（8）所得的碳化硅纤维束或纤维编织体放入高温管式炉中，在氮气保护下于400℃‑600℃热处理10min‑60min，即成。