硅片涂硼装置

摘要

本实用新型的一种硅片涂硼装置，包括设置在桌面上的轴承座，所述轴承座内穿有转轴，所述转轴顶部设置有圆形的托盘，托盘边缘向外水平延伸有三个爪部，所述爪部边缘上方设置有弧形的边框，三个爪部的边框均位于托盘的同心圆的圆周上；转轴下部穿出桌面并且末端驱动连接有电机，所述电机连接有脚踏开关。本实用新型的有益效果是：结构简单，方便人工操作，能够较为快速将硼均匀涂抹在硅片上，提高了工作效率。

主权项

一种硅片涂硼装置，其特征在于：包括设置在桌面上的轴承座，所述轴承座内穿有转轴，所述转轴顶部设置有圆形的托盘，托盘边缘向外水平延伸有三个爪部，所述爪部边缘上方设置有弧形的边框，三个爪部的边框均位于托盘的同心圆的圆周上；转轴下部穿出桌面并且末端驱动连接有电机，所述电机连接有脚踏开关。