具有中心悬吊件和环架结构的微机电系统(MEMS)多轴陀螺仪

摘要

本发明公开了各种实例，包括用于对运动进行感应的微机电管芯，所述微机电管芯包括与不对称定子电极交错接合的对称质量块电极。这些实例中的一些包括围绕与所述电极在其中设置的所述平面正交的轴弯曲的电极。一个实例提供垂直挠曲部，所述垂直挠曲部以允许围绕水平轴挠曲的方式将内环架耦合到质量块。

主权项

一种用于对运动进行感应的微机电管芯，包括：固定部分；锚，其耦合至所述固定部分；第一非线性悬吊构件，其在所述锚的第一侧上耦合至所述锚；第二非线性悬吊构件，其在所述锚的所述第一侧上耦合至所述锚，所述第二非线性悬吊构件具有与所述第一非线性悬吊构件关于锚二等分面成镜像关系的形状和位置，其中所述第一非线性悬吊构件和所述第二非线性悬吊构件是所述微机电管芯的内环架的一部分；以及平面状的质量块，所述质量块由设置在所述锚的第一侧上的第一悬吊构件以及设置在所述锚的与所述第一侧相对的第二侧上的第二悬吊构件悬吊，所述管芯限定沿着所述锚的第一侧延伸的第一间隙以及沿着所述锚的与所述第一侧相对的第二侧延伸的第二间隙，所述第一间隙和所述第二间隙中的每一者在所述内环架与所述质量块之间延伸，其中所述内环架至少部分地由所述第一非线性悬吊构件和所述第二非线性悬吊构件支撑，使得所述质量块能够围绕所述锚旋转并能够在平行于所述固定部分的平面中滑动。