| 发明名称 | 采样量测方法和系统 | ||
| 摘要 | 一种采样量测方法和系统，其中，所述的采样量测方法包括：提供若干待量测批次产品和若干已量测批次产品；根据所述待量测批次产品和所述已量测批次产品的工艺流程信息、到达量测站点时间信息和晶圆数量信息划分采样组；根据采样组内已量测产品的量测结果设置采样组的信息标签，所述信息标签包括合格、不合格和无量测结果；根据所述信息标签，将信息标签为不合格的采样组中到达量测站点最早的待量测批次产品、和信息标签为无量测结果的采样组中到达量测站点最早的待量测批次产品进行排序量测。本发明的采样量测方法和系统减少了无效量测的次数，节省了量测机台资源。 | ||
| 申请公布号 | CN104217970A | 申请公布日期 | 2014.12.17 |
| 申请号 | CN201310222154.0 | 申请日期 | 2013.06.05 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 赵晨;谭小兵;张京晶;罗志林 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 骆苏华 |
| 主权项 | 一种采样量测方法，其特征在于，包括：提供若干待量测批次产品和若干已量测批次产品；根据所述待量测批次产品和所述已量测批次产品的工艺流程信息、到达量测站点时间信息和晶圆数量信息划分采样组；根据采样组内已量测产品的量测结果设置采样组的信息标签，所述信息标签包括合格、不合格和无量测结果；根据所述信息标签，将信息标签为不合格的采样组中到达量测站点最早的待量测批次产品、和信息标签为无量测结果的采样组中到达量测站点最早的待量测批次产品进行排序量测。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||