用于硅微机械陀螺的零偏稳定性提升方法及装置

摘要

本发明公开了一种用于硅微机械陀螺的零偏稳定性提升方法及装置，方法步骤如下：1）实时获取硅微机械陀螺检测信号的正交耦合误差幅值；2）将正交耦合误差幅值作为控制量，闭环反馈控制输入硅微机械陀螺检测电极的静电刚度调整电压，当环境因素发生变化时通过静电刚度调整电压的变化量修正硅微机械陀螺的耦合刚度因环境因素发生的改变量；装置包括用于获取硅微机械陀螺检测信号的正交耦合误差幅值的正交误差幅值获取单元和用于向硅微机械陀螺输出静电刚度调整电压的静电刚度调整控制单元。本发明能够显著提升硅微机械陀螺的零偏稳定性和检测精度，具有调整实时性好、驱动电压小、效率高、成本低、功耗小、使用简便等优点。

主权项

一种用于硅微机械陀螺的零偏稳定性提升方法，其特征在于其实施步骤如下：1)实时获取硅微机械陀螺因耦合刚度导致的正交耦合误差幅值；2)将所述正交耦合误差幅值作为控制量，闭环反馈控制输入到硅微机械陀螺检测电极的静电刚度调整电压，当环境因素发生变化时通过所述静电刚度调整电压的变化量修正硅微机械陀螺的耦合刚度的改变量，从而保持硅微机械陀螺耦合刚度保持不变、提升硅微机械陀螺的零偏稳定性；所述步骤1)的详细步骤包括：1.1)实时获取硅微机械陀螺输出的检测信号与驱动信号；1.2)将所述检测信号放大并根据所述驱动信号进行解调；1.3)将解调得到的解调结果低通滤波，剔除高频信号得到正交耦合误差；1.4)将所述正交耦合误差经PID控制得到正交耦合误差幅值；所述步骤2)的详细步骤包括：2.1)将所述步骤1)得到的正交耦合误差幅值进行反相；2.2)将反相的正交耦合误差幅值作为控制量，闭环反馈控制输入到硅微机械陀螺检测电极的静电刚度调整电压，通过所述静电刚度调整电压的变化量修正硅微机械陀螺的耦合刚度因环境因素发生的改变量。