一种多晶铸锭炉自动测长晶装置

摘要

本发明涉及晶体生长炉领域，旨在提供一种多晶铸锭炉自动测长晶装置。该种多晶铸锭炉自动测长晶装置包括石英玻璃棒、拉线传感器、气缸和波纹管，石英玻璃棒的一端伸入多晶铸锭炉的内部，另一端设置在波纹管内，并且固定在石英玻璃棒夹上，气缸通过波纹管支架驱动波纹管上下运动，进而驱动石英玻璃棒和拉线传感器上的拉绳上下运动；拉线传感器用于将通过拉绳上下运动测得的数据，转换为模拟信号传送到外部，实现对测得的数据进行显示并记录。本发明采用全自动测量方式，不但能减轻测量人员的劳动强度，避免了人工读数的误差，同时数据由控制模块直接读取记录，方便后续分析，提高了测量的准确度和测量效率。

主权项

一种多晶铸锭炉自动测长晶装置，包括石英玻璃棒，其特征在于，还包括拉线传感器、气缸和波纹管，石英玻璃棒的一端伸入多晶铸锭炉的内部，另一端设置在波纹管内，并且固定在石英玻璃棒夹上，石英玻璃棒夹安装在与气缸活塞杆相连的波纹管支架上；波纹管的一端与炉顶观察窗法兰连接，另一端与波纹管支架连接，并将石英玻璃棒、石英玻璃棒夹包裹在波纹管内，且波纹管设在多晶铸锭炉的外部；多晶铸锭炉的石英玻璃棒进入口处通过波纹管进行密封，拉线传感器上的拉绳和石英玻璃棒夹连接固定；气缸通过波纹管支架驱动波纹管上下运动，进而驱动石英玻璃棒和拉线传感器上的拉绳上下运动；拉线传感器用于将通过拉绳上下运动测得的数据，转换为模拟信号传送到外部，实现对测得的数据进行显示并记录。