傅里叶变换物镜

摘要

一种傅里叶变换物镜，沿其光轴方向依次包括孔径光阑、第一透镜、第二透镜、第三透镜、后焦面，孔径光阑中心位于所述的傅里叶变换物镜的前焦点位置而形成像方远心光路，像传感器光敏面位于所述的傅里叶变换物镜的后焦面，即傅里叶变换频谱面，所述的第一透镜、第二透镜具有正光焦度，第三透镜具有负光焦度，所述的第一透镜为凸面朝向孔径光阑面的弯月透镜，第二透镜为双凸透镜，第三透镜为凸面朝向后焦面的弯月透镜。本实用新型既能满足像传感器尺寸和大视场角的要求，又满足后工作距较长的要求，结构紧凑，满足正弦条件要求，并且球差、象散、场曲、波像差都得到很好的校正，能够用于半导体光刻设备照明系统的光瞳测量。

主权项

一种傅里叶变换物镜，沿其光轴方向依次包括孔径光阑、第一透镜、第二透镜、第三透镜、后焦面，其特征在于，孔径光阑中心位于所述的傅里叶变换物镜的前焦点位置而形成像方远心光路，像传感器光敏面位于所述的傅里叶变换物镜的后焦面，即傅里叶变换频谱面，所述的第一透镜、第二透镜具有正光焦度，第三透镜具有负光焦度，所述的第一透镜为凸面朝向孔径光阑面的弯月透镜，第二透镜为双凸透镜，第三透镜为凸面朝向后焦面的弯月透镜。