发明名称 阵列基板及其制作方法、显示装置
摘要 本发明提供了一种阵列基板及其制作方法、显示装置,该阵列基板包括:衬底基板及位于衬底基板上的包括源极和漏极的图形,还包括:位于衬底基板与包括源极和漏极的图形之间的隧道结结构,隧道结结构形成阵列基板的有源层。上述阵列基板及其制作方法、显示装置具有较高的载流子迁移率,TFT的开关速度更快;TFT的阈值电压不易发生漂移,具有较高的均匀性;每个像素能够使用更少的TFT,像素的开关速度更快;且制作工艺更简单易行。
申请公布号 CN104218043A 申请公布日期 2014.12.17
申请号 CN201410453736.4 申请日期 2014.09.05
申请人 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 发明人 张金中
分类号 H01L27/12(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I;H01L27/32(2006.01)I 主分类号 H01L27/12(2006.01)I
代理机构 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 代理人 申健
主权项 一种阵列基板,包括:衬底基板及位于所述衬底基板上的包括源极和漏极的图形,其特征在于,还包括:位于所述衬底基板与所述包括源极和漏极的图形之间的隧道结结构,所述隧道结结构形成所述阵列基板的有源层;所述隧道结结构包括:依次层叠的第一磁性层、绝缘层和第二磁性层。
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