对基板进行对称倒角的方法和装置

摘要

本发明公开对基板进行对称倒角的方法和装置。对基板进行对称倒角的方法包括至少多次重复以下步骤：利用倒角轮对基板的边缘进行倒角，测量被倒角的基板的边缘的非对称倒角偏差(y)，并且通过变量y的函数f(y)的值来控制该倒角轮相对于该基板的相对位置。在没有相关领域的基于硬件的操作情况下，通过对倒角环境变化的主动响应，对基板的边缘持续地进行对称倒角是可能的。

主权项

一种对基板进行对称倒角的方法，包括重复循环多次，每个循环包括：利用倒角轮对所述基板的边缘进行倒角；测量被倒角的所述基板的边缘的非对称倒角偏差(y)；以及通过变量y的预定函数f(y)的值，控制所述倒角轮相对于所述基板的位置的相对位置。