用于EB或EUV平版印刷的化学放大负性抗蚀剂组合物和图案化方法

摘要

提供一种化学放大负性抗蚀剂组合物，包括(A)碱可溶性聚合物，(B)酸产生剂，和(C)作为碱性组分的含氮化合物，该聚合物(A)在酸催化剂存在下变为碱不溶性。在侧链上具有仲或叔胺结构的碱性聚合物用作组分(A)和(C)。由EB或EUV平版印刷方法处理负性抗蚀剂组合物可以形成精细尺寸的抗蚀剂图案，优点包括碱均匀扩散、LER改善、酸在基材界面的钝化受控和咬边程度降低。

主权项

一种用于EB或EUV平版印刷的化学放大负性抗蚀剂组合物，包括(A)碱可溶性聚合物，（B)能够产生酸催化剂的酸产生剂，和(C)作为碱性组分的含氮化合物，所述作为组分(A)的聚合物在有或没有交联剂存在下，在酸催化剂作用下变为碱不溶性，其中包括通式(1)和(2)分别表示的重复单元(1)和(2)并且具有1,000至50,000的重均分子量的碱性聚合物PB用作组分(A)和(C)两者，其中A为单键或可被醚氧原子分隔的C₁‑C₁₀亚烷基，R¹各自独立地为氢或甲基，R²各自独立地为C₁‑C₆烷基，B³为可包含醚氧原子的直链或支化C₁‑C₁₀亚烷基，R³和R⁴各自独立地为氢或可包含杂原子的一价C₁‑C₁₀烃基，条件是R³和R⁴不同时为氢，R³和R⁴可与和其连接的氮原子一起键合成环，以及当它们成环时，R³和R⁴为可以包含杂原子的二价C₂‑C₁₂烃基，B³可与R³或R⁴以及和其连接的氮原子一起键合成环，在这种情况下，含氮环为5‑元至7‑元的环，其非除孤对氮原子赋予含氮环芳香性的环结构，以及含氮环不是芳族环，a为0至4的整数，b为1至5的正整数，p为0或1，q为1，t为0至2的整数。