一种45度平面镜的面形检测装置

摘要

一种45度平面镜的面形检测装置，包括：斐索干涉仪、第一标准镜、第二标准镜、45度平面镜、拼接位移台、二维调整架、倾斜二维调整架。本实用新型在被测45度平面镜上方加入反射镜，使光原路返回，对45度平面镜进行子孔径拼接干涉测量，采用变权重法对子孔径面形数据进行拼接，得到全口径面形。本实用新型具有：1，操作简易，45度平面镜镜面不易变形，测量精度高；2，子孔径面形数据采用变权重数据融合拼接，精度高；3，通过改变第一标准镜和第二标准镜的反射率，既可以测量未镀膜面，也可以测量高反面，均有较高的干涉对比度的优点。

主权项

一种45度平面镜的面形检测装置，其特征在于，包括：斐索干涉仪(1)、放置在该斐索干涉仪(1)的参考镜调整架(1‑1)上的第一标准镜(2)、拼接位移台(5)、固定在该拼接位移台(5)上的二维调整架(6)、装夹在该二维调整架(6)上的45度平面镜(4)、倾斜二维调整架(7)，以及装夹在该倾斜二维调整架(7)上的第二标准镜(3)；所述的45度平面镜(4)与所述的斐索干涉仪(1)的发射光呈45度，所述的第二标准镜(3)位于该45度平面镜(4)的上方、且与该45度平面镜(4)的一反射光呈45度。