发明名称 金属板、金属板の製造方法、および金属板を用いてマスクを製造する方法
摘要 【課題】貫通孔の寸法のばらつきが抑制された蒸着マスクを作製することができる金属板を提供する。【解決手段】長手方向における金属板の板厚の平均値は、所定値?3%の範囲内となっている。また、長手方向における金属板の板厚の平均値をAとし、長手方向における金属板の板厚の標準偏差に3を掛けた値をBとするとき、(B/A)?100(%)が5%以下になっている。さらに、幅方向における金属板の板厚の標準偏差に3を掛けた値をCとし、幅方向における金属板の板厚の標準偏差を算出するために幅方向に沿って金属板の板厚を測定する際に得られる、幅方向の部における金属板の板厚の値をXとするとき、(C/X)?100(%)が3%以下になっている。【選択図】図1
申请公布号 JP5641462(B1) 申请公布日期 2014.12.17
申请号 JP20140099811 申请日期 2014.05.13
申请人 发明人
分类号 C23C14/04;H01L51/50;H05B33/10 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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