用于坩埚喷涂的坩埚加热板

摘要

本实用新型涉及一种用于坩埚喷涂的坩埚加热板，包括支撑板、隔热层、加热层、导热层和内衬层，隔热层设置在支撑板的上表面，加热板设置在隔热层的上表面，导热层设置在加热板的上表面，内衬层设置在导热层的上表面，加热层为电热膜，导热层由3～5层导热石墨膜组成，导热石墨层膜的层与层之间纵横方向交错设置，内衬层为导热硅胶垫。本实用新型的有益效果是：相比镍洛电阻丝，使用的电热膜具有发热效率高、安装简单、维护方便、价格便宜等优点；导热石墨膜具有横向传热均匀、柔软适应性强等优点；从最终效果来看，提高了坩埚加热均匀，可帮助提高涂层质量，同时还可以降低约20％电耗。使用方式上也没有改变，现有操作者容易上手，替代性强。

主权项

一种用于坩埚喷涂的坩埚加热板，其特征是：包括支撑板(1)、隔热层(2)、加热层(3)、导热层(4)和内衬层(5)，隔热层(2)设置在支撑板(1)的上表面，加热层(3)设置在隔热层(2)的上表面，导热层(4)设置在加热层(3)的上表面，内衬层(5)设置在导热层(4)的上表面，加热层(3)为电热膜，导热层(4)由3～5层导热石墨膜组成，导热石墨层膜的层与层之间纵横方向交错设置，内衬层(5)为导热硅胶垫。