用于在电子器件制造中传输基板的机械手系统、装置及方法

摘要

本文揭示基板传输系统、装置和方法。系统适于藉由将吊臂连杆转向邻近目的地的位置，接着驱动机械手组件来放下或拾起目的地处的基板，以有效放下或拾起目的地处的基板。在此还提出许多其他方面。

主权项

一种电子器件处理系统，包括：腔室；机械手装置，容纳于所述腔室中且适于传输至少一个基板，所述机械手装置具有刚性的吊臂连杆、第一机械手组件和第二机械手组件，所述吊臂连杆适于绕着所述吊臂连杆的旋转轴旋转；所述吊臂连杆包括：从所述吊臂连杆的所述旋转轴朝两个方向延伸的第一悬臂梁和第二悬臂梁；其中，所述第一机械手组件安装至所述第一悬臂梁，以及所述第二机械手组件安装至第二悬臂梁，其中在所述第一机械手组件的肩轴与所述第二机械手组件的肩轴之间延伸的直线偏离所述吊臂连杆的所述旋转轴；所述第一机械手组件进一步包括：上臂，所述上臂在偏离所述吊臂连杆的旋转轴的第一径向位置耦接至所述吊臂连杆，并且适于在X‑Y平面上相对于所述吊臂连杆绕着肩轴旋转；前臂，所述前臂耦接至与所述肩轴隔开的肘轴处的所述上臂且适于相对于与所述肩轴隔开的所述肘轴处的所述上臂旋转；机械腕构件，所述机械腕构件耦接至所述前臂，且适于在X‑Y平面上相对于与所述肘轴隔开的所述腕轴处的所述前臂旋转，以使得所述机械腕构件以平移模式反向运动；以及端部执行器，所述端部执行器包括在所述机械腕构件上，所述端部执行器适于承载所述至少一个基板，其中所述腕轴偏离所述吊臂连杆的所述旋转轴设置；所述机械手装置附连至驱动组件，所述驱动组件具有马达部件，所述驱动组件包括：适于所述吊臂连杆绕着所述吊臂连杆的旋转轴旋转的第一驱动部件，所述驱动部件包括第一马达部件；适于所述第一机械手组件中的所述上臂绕着所述肩轴旋转的第二驱动部件，每一个第二驱动部件包括耦接至传动滑轮的传动轴、金属带、以及利用导杆耦接至所述上臂的从动滑轮、以及第二马达部件，其中所述第二驱动部件被配置成使得所述第二马达部件的旋转导致所述传动轴和所述传动滑轮的旋转且驱动所述从动滑轮，由此所述导杆和所述上臂绕着所述肩轴旋转；以及适于所述前臂绕着所述肘轴旋转的第三驱动部件，所述驱动部件包括耦接至第二传动滑轮的第二传动轴、第二金属带、以及利用第三轴耦接至所述前臂和所述机械腕构件的第二从动滑轮，所述第三驱动部件被配置成使得第三马达部件的旋转导致所述第二传动轴和所述第二传动滑轮的旋转且驱动所述第二从动滑轮，由此所述第三轴旋转，所述前臂绕着所述肘轴旋转且所述机械腕构件绕着所述腕轴旋转，使得所述机械腕构件能够以所述平移模式反向的运动。