基板位置对准器;SUBSTRATE POSITION ALIGNER

摘要

一种基板位置对准器包括基板固持总成、复数个辊、旋转机构及感测器。基板固持总成经设置以在垂直方向上固持基板。该等复数个辊包括至少两个惰轮辊及一个驱动辊。各辊在该辊之周边上具有一点，该点与基板旋转中心(于该基板固持总成内部界定该中心)间隔一共用半径。感测器约定位于共用半径上，且该感测器经设置以当定向切口未经定向在与水平成约-44度与约+44度之间的范围内时，侦测基板中定向切口之存在。一种对准具有定向切口之基板之方法包括以下步骤：当定向切口未经定向于以上所述之范围内时，感测到该定向切口之存在。