真空处理装置及其之运转方法

摘要

〔课题〕在介隔着真空搬送中间室连结复数个真空搬送室之真空处理装置中，使作业比(operating ratio)提升。〔解决手段〕一种真空处理装置的运转方法，该真空处理装置具有：介隔着真空搬送中间室而被连结之复数个真空搬送室、以及各自连结到该真空搬送室之复数个真空处理容器；其特征为：介隔着真空搬送中间室使复数个真空搬送室连通，供给冲洗气体到复数个真空搬送室中连结到闭锁室之真空搬送室，使从闭锁室来算为较远的真空搬送室的搬送室内进行减压排气，把复数个真空搬送室之全部的搬送室内压力高于真空处理容器的容器内压力。