吐出检查装置及基板处理装置;EJECTION INSPECTION APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS

摘要

本发明之基板处理装置之吐出检查部系具备有光线射出部与摄像部。光线射出部系沿着预先被决定之光线存在面射出光线，对自吐出头之复数个吐出口所吐出之处理液照射光线。摄像部系对通过来自光线射出部之面状光之处理液进行拍摄，而取得包含有复数个亮点之检查图像。在吐出检查部中，藉由判定框设定部在检查图像上加以设定与复数个吐出口产生对应之复数个正常吐出判定框。然后，藉由判定部，取得在各正常吐出判定框内之亮点之存否资讯，并根据该存否资讯而加以判定与各正常吐出判定框产生对应之于吐出口之吐出动作的良否。藉此，可个别且精准地判定在复数个吐出口之各者中之吐出动作的良否。