加热汽化系统和加热汽化方法;HEATING VAPORIZATION SYSTEM AND HEATING VAPORIZATION METHOD

摘要

本发明提供加热汽化系统和加热汽化方法。所述加热汽化系统(1)具备：容器(2)，通过将材料加热和汽化而生成材料气体；配管(3)，将所述材料气体导出；感测器用流道(3a)，设置在配管(3)上；流量检测部(4a)，具备设置在感测器用流道(3a)上的热式流量感测器(6)，利用所述热式流量感测器(6)测量流过配管(3)的材料气体的流量；流量调节部(4b)，调节流过流量检测部(4a)上游的配管(3)的所述材料气体的流量；以及控制部(4c)，使用流量检测部(4a)的检测结果，控制流量调节部(4b)。