具有区域依赖性热效率之温度受控电浆制程腔室部件;TEMPERATURE CONTROLLED PLASMA PROCESSING CHAMBER COMPONENT WITH ZONE DEPENDENT THERMAL EFFICIENCIES

摘要

用于控制制程或腔室部件温度作为一电浆制程之部件与系统系由电浆制程设备所执行。一第一热传流体通道系置于一部件中、一电浆制程腔室内之一工作表面下方，使得该第一通道在该工作表面之一第一温度区域下方之一第一长度可包含与该第一通道在该工作表面之一第二温度区域下方之一第二长度不同之一热传系数(h)或热传面积(A)。在实施例中，不同的热传系数或热传面积系设为温度区域之函数，以使对该第一与该第二温度区域之温度控制更为独立。