基板检测装置，基板检测方法及基板检测用夹具;SUBSTRATE INSPECTING APPARATUS, SUBSTRATE INSPECTING METHOD AND JIG FOR INSPECTING SUBSTRATE

摘要

本发明提供一种能防止内置于检测物件基板的电子元件破损的基板检测装置及其相关技术。对内置电子元件的基板上形成的配线图形进行电性检测的基板检测装置包括复数个接触端子、切换电路和控制器。控制器是在切换电路的开关处于接通的状态下，向接触端子和接触端子之间施加电源供应的电压，从而检测与基板上二个检测点相对应的二个配线图形相互间的绝缘状态。此时，在基板的外部，接触端子和接触端子两者之间插入的二极体上施加顺向偏压而流过顺向电流时，该两者之间的电位差与二极体两端的电位差变为相等而受限于较小的值。