探针卡与其之制作方法;PROBE CARD AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

摘要

一种探针卡包含配线基板、转接部、至少一电子元件与至少一探针。配线基板具有相对之晶圆侧与测试侧。配线基板包含至少一焊点，焊点位于晶圆侧上。转接部位于晶圆侧上，且转接部具有至少一贯穿孔于其中。贯穿孔暴露出配线基板之焊点。电子元件之焊点端电性连接焊点，电子元件相对焊点端之转接端电性连接转接部。探针电性连接转接部。