加热处理装置及加热处理方法

摘要

提供一种能够利用微波对被处理体施予均匀之热处理的加热处理装置。加热处理装置(10)系具备向内部导入有效波长为g之微波的4个处理室(11),4个处理室(11)系彼此平行配置,且4个处理室(11)之各个系具有与基板(G)相对向的开口部(15),沿纵长方向从一端之内壁起至多端之内壁的长度系mg/2(m为正整数),使微波振荡到处理室(11)之内部的天线(14)系沿处理室(11)之纵长方向从端部之内壁仅错开g/4+pg/2(p系包含0的正整数)来予以配置,以从与各处理室(11)之纵长方向垂直的方向而重叠有各处理室(11)的方式眺望各处理室(11)时,各处理室(11)系沿纵长方向各错开g/8来予以配置。