| 发明名称 |
硬遮罩表面处理;HARDMASK SURFACE TREATMENT |
| 摘要 |
本发明系提供适合于形成氧基金属硬遮罩层之组成物。本发明亦提供使用该种组成物形成氧基金属硬遮罩层之方法，其中所形成之氧基金属硬遮罩层之表面具有与后续施加之有机涂料实质地相称之水接触角。 |
| 申请公布号 |
TW201446883 |
申请公布日期 |
2014.12.16 |
| 申请号 |
TW103101938 |
申请日期 |
2014.01.20 |
| 申请人 |
罗门哈斯电子材料有限公司 |
发明人 |
王大洋;崔夫纳斯三世 彼得;山田信太郎;欧康乃尔 凯塞琳Ｍ |
| 分类号 |
C08L85/00(2006.01);C08L33/02(2006.01);C08L101/06(2006.01);C08G79/00(2006.01);C08F220/04(2006.01);C08J7/04(2006.01);G03F7/11(2006.01);G03F7/16(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
C08L85/00(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
<name>洪武雄</name><name>陈昭诚</name> |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 |
