| 发明名称 |
处理腔室中之清洗及电浆抑制方法及设备;METHOD AND APPARATUS FOR PURGING AND PLASMA SUPPRESSION IN A PROCESS CHAMBER |
| 摘要 |
一种基板处理系统，包括：一喷淋头，其包含基部及柄部，并将前驱物气体递送至处理腔室。一挡板包括基部，该基部的外径大于喷淋头之基部的外径；该挡板包含介电材料，并且系设置在喷淋头之基部与处理腔室的上表面之间。 |
| 申请公布号 |
TW201446330 |
申请公布日期 |
2014.12.16 |
| 申请号 |
TW103103590 |
申请日期 |
2014.01.29 |
| 申请人 |
诺发系统有限公司 |
发明人 |
百林 派崔克;戈柏 凯文;欧洛芙琳 珍妮佛;珊卡 纳葛;瑟蓝莫尼恩 普拉莫 |
| 分类号 |
B05B1/00(2006.01) |
主分类号 |
B05B1/00(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
<name>周良谋</name><name>周良吉</name> |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 |
