发明名称 |
昇华纯化设备之内管;INNER TUBE FOR SUBLIMATION PURIFICATION APPARATUS |
摘要 |
本发明系关于使用在用于昇华-纯化OLED材料之设备中之内管,尤其系用于收集经纯化材料的内管。使用于昇华-纯化设备之知内管的表面积或尺寸系受限于外管的表面积或尺寸,因此在一次制程中获得的材料量会因此而受限。相较于知内管,本发明提供用于改良经纯化材料之生产率的内管。 |
申请公布号 |
TW201446322 |
申请公布日期 |
2014.12.16 |
申请号 |
TW103105448 |
申请日期 |
2014.02.19 |
申请人 |
罗门哈斯电子材料韩国公司 |
发明人 |
金大勋;金时龙;朴正桓;朴范圭;朴成浩;郑钟元 |
分类号 |
B01D7/00(2006.01);H01L51/56(2006.01) |
主分类号 |
B01D7/00(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
<name>洪武雄</name><name>陈昭诚</name> |
主权项 |
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地址 |
南韩 |