发明名称 昇华纯化设备之内管;INNER TUBE FOR SUBLIMATION PURIFICATION APPARATUS
摘要 本发明系关于使用在用于昇华-纯化OLED材料之设备中之内管,尤其系用于收集经纯化材料的内管。使用于昇华-纯化设备之知内管的表面积或尺寸系受限于外管的表面积或尺寸,因此在一次制程中获得的材料量会因此而受限。相较于知内管,本发明提供用于改良经纯化材料之生产率的内管。
申请公布号 TW201446322 申请公布日期 2014.12.16
申请号 TW103105448 申请日期 2014.02.19
申请人 罗门哈斯电子材料韩国公司 发明人 金大勋;金时龙;朴正桓;朴范圭;朴成浩;郑钟元
分类号 B01D7/00(2006.01);H01L51/56(2006.01) 主分类号 B01D7/00(2006.01)
代理机构 代理人 <name>洪武雄</name><name>陈昭诚</name>
主权项
地址 南韩