透光性金属氧化物烧结体之制造方法及透光性金属氧化物烧结体

摘要

本发明之课题在于提供一种可改进透光性之透光性金属氧化物烧结体的制造方法。又，本发明之解决手段为一种透光性金属氧化物烧结体的制造方法，其系关于金属氧化物为主要成分之烧结体，以在1000~2000℃的温度范围所设定之HIP热处理温度T进行热间等热均压处理而得到透光性的烧结体，其特征为上述热间等热均压处理的升温过程中，从室温至HIP热处理温度T为止的温度范围S被分割成复数个阶段，对每个分割阶段控制升温速率，至少包含HIP热处理温度T之最后阶段(14)的升温速率为10℃/h以上180℃/h以下。