增强检验及计量技术及使用亮场差分干涉对比之系统;ENHANCED INSPECTION AND METROLOGY TECHNIQUES AND SYSTEMS USING BRIGHT-FIELD DIFFERENTIAL INTERFERENCE CONTRAST

摘要

本发明描述一种在一亮场差分干涉对比(BF-DIC)系统中提供高精确度检验或计量之方法。此方法可包含自一第一光射束产生第一射束及第二射束。该第一射束及该第二射束具有圆截面，且在一基板上形成径向移位之第一部分重叠扫描光点。自该第一光射束或一第二光射束产生第三射束及第四射束。该第三射束及该第四射束具有椭圆截面，且在该基板上形成切向移位之第二部分重叠扫描光点。可在旋转该基板时使用该等第一部分重叠扫描光点及该等第二部分重叠扫描光点来扫描该基板之至少一部分。可使用自使用该等第一部分重叠扫描光点及该等第二部分重叠扫描光点之该扫描所获得之量测来判定径向斜率及切向斜率。该等径向斜率及切向斜率可用于判定晶圆形状或任何局部化表面构形特征。